南陈祯明三年（589年），怀安县、欣乐县、酉平县三县合置归善县。

隋朝开皇十年（590年），合併梁化郡、义安郡、始兴郡、东官郡置循州，归善县为循州治所。

南汉乾亨元年（917年）析循州之海丰县，河源县、博罗县、归善县，改名祯州，仍治归善县。

宋真宗天禧四年为避太子赵祯讳，改祯州为惠州。

元代，置惠州路。

明洪武元年（1368年）设定惠州府，洪武二年，撤循州府，其辖地併入惠州府。惠州府下设归善、博罗、紫金、龙川、长乐（五华县原名）、兴宁、长宁（后改连平州）、海丰县8县以及连平州属下的河源、和平2县。

清初袭明制，雍正九年（1731年）从海丰县分设陆丰县，雍正十一年（1733年）改长乐、兴宁二县归嘉应直隶州。共辖一州9县，即连平州，归善、博罗、长宁、永安、海丰、龙川、陆丰、河源、和平，惠州十属形成。

民国元年（1912年）归善县改名惠阳县。