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WBC(晶圆背面涂胶技术)

WBC(晶圆背面涂胶技术)

全拼:WAFER BACKSIDE COATING

基本介绍

  • 中文名:晶圆背面涂胶技术
  • 外文名:WAFER BACKSIDE COATING
  • 涂胶工艺:刷胶工艺
在晶圆背面涂覆工艺中採用晶片粘结剂作为浆料,将其涂覆到晶圆背面之后再烘乾。其优点是同乾膜方法相比成本降低20-30%,可以控制键合层厚度并且得到更高的单位时间产量。

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