清华大学精密仪器系涵盖仪器科学与技术、光学工程两个一级学科，各学科在全国评估中均名列前茅。建有1个国家重点实验室和1个国家工程研究中心，及国家级示範教学基地，是全国国家级教学科研机构最多的系。

拥有一只强有力的光、电、控多学科交叉的教学科研队伍，包括中国工程院院士2人，教育部“长江学者”奖励计画特聘教授2人，国家“千人计画”教授3人，国家杰出青年基金获得者7人。系2011年科研经费达到了2.8亿元。这些条件，为培养多学科交叉的创新性人才，开展创新性的科学研究提供了良好支撑。

全系建有“精密测试技术与仪器”国家重点实验室、“光碟”国家工程研究中心、智慧型微系统教育部重点实验室、高精度导航技术教育部重点实验室、生物医学检测技术及仪器北京实验室以及微米纳米技术研究中心、宇航技术研究中心等。全系科研坚持为国民经济服务和跟蹤世界科技发展前沿，每年承担国家重点科技攻关项目、973基础研究项目、863高技术项目、国家自然科学基金项目及其它科技开发项目等近百项。70年代，研製开发了分步重複自动照相机、图形发生器、电子束曝光机工件台、光刻机等半导体设备，其中“分步相机”套用于全国100多个厂家，受到好评；研製了多种磁碟测试仪器，促进了我国电子工业的发展。“七五”、“八五”期间，光/ 热效应型可直接改写光碟技术研究获得国家发明二等奖。“九五”、“十五”期间，微米、纳米技术取得了国际水平的研究成果。科研经费显着增加，获得国家级奖励7项，其中国家发明奖4项，科技进步奖3项。近年来研製成功国内第一颗微小卫星与纳型卫星，2007-2012年间，我系获国家科技奖励5项，其中国家技术发明奖二等奖4项，国家科技进步奖二等奖1项。近5年，获得国家发明专利授权285项，全系师生在国内外学术刊物及学术会议上共发表论文1212 篇，其中SCI收录论文387篇，科研经费总量增长迅速，2012年达到1.5亿多元，国家重大任务逐渐成为科研工作的主流。

清华大学精密仪器系渊源于1932年成立的清华大学工学院机械工程学系，建系之初设立3个学科组，即原动力工程组、机械製造工程组、飞机及汽车工程组，经多年的发展和调整，逐步形成清华大学目前的精密仪器系、机械工程系、热能工程系、汽车工程系和工业工程系。

1937年－1945年抗战期间，机械工程学系随学校南迁，先后在长沙临时大学和西南联合大学办学，1946年回到北京清华园。

1952年，全国高等学校院系调整，北京大学和燕京大学的机械工程学系併入清华大学机械工程学系，并取消学院建制，同时机械工程学系分为机械製造系和动力机械系。机械製造系下设4个专业，即机械製造工艺、金属切削工具机及其工具、铸造机械及铸造工程、金属压力加工及加工机械。1956年机械製造工艺专业与金属切削工具机及其工具专业合併为机械製造工程专业（1957年易名为机械製造工艺、金属切削工具机及工具专业）。1959年增设精密仪器和光学仪器专业。

1960年，机械製造系分为精密仪器及机械製造系和冶金系。冶金系即为现在的机械工程系，以热加工专业为主。精密仪器及机械製造系下设3个专业，即金属切削工具机及自动化（1963年改称机械製造工艺及设备专业）、精密仪器、光学仪器。

1965年，精密仪器及机械製造系系馆（即现在的精密仪器与机械学系系馆，9003大楼）落成。

1971年，精密仪器及机械製造系改称精密仪器系。1972年精密仪器专业改为陀螺导航与自动控制专业。1979年教育部直属工科重点院校专业调整后，精密仪器系下设3个专业，即机械製造工艺、设备及自动化，光学仪器，陀螺仪器及导航自动控制。

1981年，机械学、光学仪器、精密机械及仪器批准为硕士点和博士点，机械製造批准为硕士点，并在1985年批准为博士点。

1984年，精密仪器系更名为现今的精密仪器与机械学系，下设3个专业，即机械设计与製造、光学仪器、精密仪器。1989年，精密仪器专业和光学仪器专业合併为精密仪器仪表专业，并在1995年改称测控技术与仪器专业。

1988年，机械学（1997年改为机械设计及理论）、光学仪器（1997年改为光学工程）、精密仪器及机械3个学科被评为全国高等学校重点学科。机械製造及其自动化在2001年被评为全国高等学校重点学科。

1988年建立光学工程、仪器仪表2个博士后流动站，并在1991年建立机械工程博士后流动站。

1988年，摩擦学国家重点实验室正式成立；

1992年，与自动化系、机械工程系共建的CIMS国家工程研究中心通过验收。

1995年，与天津大学精密仪器系共建的精密测试技术与仪器国家重点实验室正式成立；

1996年，光碟国家工程研究中心正式成立；

1996年，精密仪器与机械学系、机械工程系、汽车工程系联合成立机械工程学院，之后工程力学系、热能工程系、工业工程系、基础工业训练中心也分别併入机械工程学院。

1997年增设工业工程专业，并在2001年单独成立工业工程系，隶属于机械工程学院。

2003年，精密仪器与机械学系在深圳研究生院建立先进制造技术研究所，并在2010年成立先进制造学部。

2004年，国家工科机械基础课程教学基地通过教育部验收，并在2007年建设成立国家机械工程实验教学示範中心。

2004年，增设微机电系统工程专业，同时按“製造自动化与测控技术专业”统一招生，前两年为基础平台课程，第三年按“机械工程及自动化”、“测控技术与仪器”和“微机电系统工程”三个专业方向分流培养。

2012年，精密仪器与机械学系按“机械工程及自动化专业（精仪系）”和“测控技术与仪器专业”两个专业招生。

2012年12月，学校决定以精密仪器与机械学系的仪器科学和光学工程学科为基础，成立精密仪器系，以促进仪器和光学学科的发展。

目前，精密仪器系建有光学工程和仪器科学与技术二个一级学科。下设光电工程研究所、仪器科学与技术研究所、导航技术工程中心、雷射与光子技术研究室等4个教学科研单位。

领导机构

系机关设定及主要负责人

系学术委员会成员名单

名誉主席：金国藩

主席：李岩

副主席：王雪、柳强

委员：尤政、王雪、叶雄英、李岩、巩马理、陈非凡、张嵘、金国藩、柳强、杨昌喜、施路平（按姓氏笔画排序）

王力军（特邀）

秘书：胡华、曾海明

光学与仪器学位分委员会成员名单

主席：尤政

副主席：李立峰

委员：王晓浩、尤政、孙利群、李立峰、朱荣、闫平、曾理江、韩丰田、董永贵(按姓氏笔画排序)

秘书：赵嘉昊

系保密小组成员名单

组长：尤政

副组长：柳强

组员：张高飞、徐蝶飞、曾海明、蒋蓉、魏斌（按姓氏笔画排序）

系工会成员名单

主席：杨建中

副主席：李红

委员：马骋（体育）、王鹏（组织）、朱昊（生活）、李冬梅（青工）、张海涛（文艺）、罗秀芝（女工）、徐蝶飞（宣传）（按姓氏笔画排序）

离退休领导小组成员名单

组长：王晓浩

副组长：王雪、杨建中

组员：李红、徐蝶飞（按姓氏笔画排序）

系学生工作指导小组

组长：王晓浩

副组长：谭峭峰、白本锋

系学生就业工作指导小组

组长：王晓浩

副组长：白本锋、顾华荣、付星

组员：朱荣、张嵘、杨昌喜、徐蝶飞（按姓氏笔画排序）

系职称聘任委员会

组 长：系主任 尤政

成 员：系党委书记 王晓浩

院 士：金国藩

学术委员会主任：李岩

分管人事副系主任：王雪

各所推荐教授 仪器所3人：朱荣、董永贵

光学所3人：李立峰、杨昌喜、孙利群

导航中心2人：张嵘、韩丰田

雷射室2人：巩马理、闫平

注：系职称聘任委员会教授与系人才引进会教授相同。

系聘任工作小组

尤政、王晓浩、王雪、白本锋、杨建中、柳强、谭峭峰（按姓氏笔画排序）

系博士后领导小组成员名单

组长：王雪

副组长：柳强

组员：董永贵、杨昌喜、徐蝶飞

系财经工作小组

组长：尤政

副组长：王晓浩

组员：王雪、孙利群

仪器科学与技术研究所

所长：朱荣

副所长：李玉和（教学）、张高飞（科研）、马骋（行政）

书记：王鹏

光电工程研究所

所长：李岩

副所长：尉昊赟（教学）、杨昌喜（科研）、张连清（行政）

书记：孙利群

导航技术工程中心

主任：高钟毓

副主任：张嵘、郭美凤

书记：吴秋平

雷射与光子技术研究室

主任：巩马理

书记：闫平

精仪系目前在读本科生573人，博士生193人，硕士153人，无学籍工程管理硕士19人。开设本科课程36门，研究生课程30门。精仪系採用学分制管理和弹性学习年限的本科培养模式，对完成并符合培养方案要求的学生授予工学学士学位。优秀本科毕业生可直接攻读硕士、博士学位。精仪系非常重视本科教学，知名教授、长江学者均为本科生开设研讨课。开设的课程中有5门国家精品课程、3门北京市精品课程、4门清华大学精品课程。

系教师出版本科教材40余部，其中20余部被列入国家“十一五”规划教材，获国家优秀教材一等奖1项、二等奖2项，市级教材奖多项。2009年获得第六届高等教育国家级教学成果二等奖1项、2008年获得北京市教育教学成果一等奖2项。

为实现宽口径专业教育，精仪系实行按系“製造自动化与测控技术”统一招生，前两年为基础平台的通识教育，第三年按“测控技术与仪器”、“机械工程及自动化”和“微机电系统工程”三个专业方向分流培养。通过“拔尖创新学生培养项目”、科技大赛等多种方式，为优秀学生脱颖而出创造条件。

精仪系按照仪器科学与技术、光学工程两个一级学科招收培养博士生和硕士生，现有博士生导师21人。近年来共有6名博士论文被评为“全国百篇优秀博士论文”入选“北京市优秀博士论文”2篇。多位博士生和硕士生参加国际联合培养和国际交流。2010年2位博士生获得“教育部博士生学术新人奖”，4位获得“清华大学博士生科研创新基金”。

系拥有精密仪器及工程和光学工程两个全国重点学科，在全国一级学科评估中，仪器科学与技术和光学工程两个一级学科均名列前茅。

本系建有“精密测试技术与仪器”国家重点实验室，国家光碟国家工程研究中心以及微米纳米技术研究中心和宇航技术研究中心等。全系科研坚持为国民经济服务和跟蹤世界科技发展前沿，每年承担国家重点科技攻关项目、973基础研究项目、863高技术项目、国家自然科学基金项目及其它科技开发项目等近百项。早在1958年，研製了我国第1台数控工具机，与美、苏、日并驾齐驱。60年代，研製了我国第1台劈锥铣，为国防作出贡献。70年代，研製开发了分步重複自动照相机、图形发生器、光刻机、电子束曝光机工件台等半导体设备，其中“分步相机”套用于全国100多个厂家，面向大型机械製造业的大尺寸测量研究达到世界先进水平，研製的大型电站发电机组状态监测与故障诊断系统获国家科技进步三等奖并得到推广套用，光/热效应型可直接改写光碟技术研究获得国家发明二等奖。90年代，与自动化系、机械系等单位合作建成了我国第一个CIMS 实验工程中心，获得美国製造工程师学会（SME）颁发的“大学领先奖”；摩擦学国家重点实验室的基础研究成果达到国际先进水平，微米、纳米技术也取得了国际水平的研究成果。“七五”期间，全系获得各种奖励32项。 “八五”期间，科研经费显着增加，获得国家级和 省部级奖励33项 ，其中国家发明奖：二等奖1项，三等奖2项，四等奖 4项。根据学校“211工程”规划，先进制造技术与微米/纳米技术被列为学校重点建设学科和新的学科生长点。

全系十分重视开展国内外学术交流，和国外许多着名大学和研究机构保持着密切的联繫和合作，已组织召开了多次国际学术会议，主办了多次全国性的学术会议。

系内研究单位

1.光电工程研究所

2.仪器科学与技术研究所

3.雷射与光子技术研究室

4.导航技术工程中心

国家重点实验室

精密测试技术及仪器国家重点实验室

联合机构（校企联合）

1.清华大学（精仪系）-中国空空飞弹研究院测控联合实验室

2.清华大学（精仪系）-航天东方红卫星有限公司微小卫星技术联合实验室

3.清华大学（精仪系）-南通科技数控工具机技术联合研发中心

4.微惯性技术及器件联合实验室

5.清华大学-日立维亚雷射实验室

自主机构

1.清华大学导航技术工程中心

2.清华大学微米纳米技术研究中心

“一流、竞争、流动”是系师资队伍建设的指导思想。截至2013年1月，精密仪器系有教职工85人。其中，中国工程院院士2人，国家千人计画教授3人，教育部长江学者奖励计画特聘教授2人，国家杰出青年基金获得者7人，北京市教学名师奖获得者1人，在职教授24人，副教授34人，并设有两个博士后流动站拥有35名博士后研究人员。

院士

金国藩（中国工程院院士）

尤政（中国工程院院士）

光电工程研究所

正高级：金国藩 曾理江 李立峰 杨昌喜 李岩 孙利群

副高级：谭峭峰 朱钧 白本锋 曹良才 杨怀栋 尉昊赟 谈宜东

中级：吴冠豪 肖晓晟 顾华荣 张浩

实验人员：张连清 朱昊 郭宏

仪器科学与技术研究所

正高级：尤政 叶雄英 董永贵 王雪 朱荣 陈非凡 王晓浩 施路平

副高级：裴京 任大海 邓焱 李玉和 马骋 王晓峰 张高飞 冯焱颖 王鹏 李滨 邢飞 唐飞 梁志恆 杨兴 杨建中 胡华 王波 王文会 阮勇 赵嘉昊

中级：张建伟 赵开春 荆高山 伍康 陶青常

实验人员：侯汝舜 罗秀芝 徐海峥

导航技术工程中心

正高级：高钟毓 董景新 张嵘 韩丰田

副高级：郭美凤 吴秋平 李冬梅 陈志勇 周斌 贺晓霞 刘云峰

中级：李海霞 胡佩达

实验人员：王芃 谭巍

工人：王凤华 高颖

雷射与光子技术研究室：

正高级：巩马理 闫平 柳强 张海涛

副高级：黄磊 王巍

中级：刘欢

系机关

徐蝶飞 陈焕新 马赛 曾海明 李红 魏斌