《低气压低温电浆诊断原理与技术》介绍了低气压低温电浆诊断技术的基础知识，总结了近年来该领域的一些进展，提供了低气压低温电浆诊断技术套用的实例。全书共7章。第1-3章主要介绍了电浆的基本概念与性质，低温电浆的产生方法和电浆中的基本化学过程。第4章着重讲述了低气压低温电浆的探针诊断技术及其套用。第5章介绍了低气压低温电浆的波干涉诊断技术。第6章和第7章分别讲述了低气压低温电浆的光谱和质谱诊断技术及其套用。本书附录中收集整理了部分原子、分子、离子发光的特徵光谱谱线。

《低气压低温电浆诊断原理与技术》可供进入低温电浆技术领域学习与工作的研究生、本科生以及技术人员参考使用。

第1章 电浆基本概念和性质

1.1 电浆概念

1.1.1 电浆的定义

1.1.2 电浆的分类

1.2 电浆的导电性与準电中性

1.2.1 电浆的导电性

1.2.2 电浆的準电中性

1.3 电浆的基本参量

1.3.1 电浆密度与电离度

1.3.2 电浆温度

1.3.3 德拜长度

1.3.4 电浆鞘层

1.3.5 电浆频率

1.3.6 电浆的时空特徵量

1.4 电浆中带电粒子的扩散

1.5 低气压低温电浆诊断方法概述

参考文献

第2章 气体放电电浆基础

2.1 直流辉光放电

2.1.1 帕邢定律

2.1.2 直流辉光放电特性

2.2 射频辉光放电

2.2.1 射频放电过程

2.2.2 射频电浆中的自偏压

2.2.3 射频放电的优点

2.2.4 射频放电的产生方法

2.3 微波放电

2.4 微波电子迴旋共振放电

参考文献

第3章 电浆化学基础

3.1 化学反应的表征

3.2 电浆中的化学反应

3.2.1 同相反应

3.2.2 异相反应

3.3 化学反应链

3.4 电浆与表面相互作用

3.4.1 电浆与固体表面的物理作用

3.4.2 离子和电子诱导的表面化学反应

3.4.3 能量传递

3.4.4 对薄膜沉积的影响

3.4.5 电浆诱导损伤

参考文献

第4章 低气压低温电浆的探针诊断

4.1 朗缪尔探针诊断的基本方法

4.1.1 朗缪尔探针结构与工作电路

4.1.2 朗缪尔探针的电压.电流特性

4.1.3 从探针I-V特性曲线获取电浆参数

4.1.4 探针诊断的条件、优点与缺点

4.1.5 探针测量误差的主要来源

4.2 朗缪尔探针的基本理论

4.2.1 无碰撞鞘层

4.2.2 平面探针

4.2.3 圆柱形探针

4.3 非麦克斯韦分布的探针理论

4.4 各向异性电浆的探针诊断

4.5 碰撞对探针诊断的影响

4.6 磁化电浆中的朗缪尔探针

4.6.1 磁场的影响

4.6.2 磁化电浆中的探针测量

4.7 射频电浆中的朗缪尔探针

4.7.1 射频电浆中的探针特性

4.7.2 射频补偿方法

4.7.3 无补偿的测量条件

4.8 朗缪尔探针方法的空间和时间解析度

4.8.1 朗缪尔探针方法的空间解析度

4.8.2 朗缪尔探针方法的时间解析度

4.9 化学活性电浆的探针诊断

4.9.1 化学活性电浆中的探针污染

4.9.2 发射探针技术

4.9.3 电容耦合探针技术

4.9.4 悬浮探针技术

4.9.5 三探针技术

4.9.6 射频阻抗探针和电浆振荡探针技术

4.9.7 热探针技术

4.9.8 探针表面的清洗方法

4.10 探针I-V特性的二次微分方法

4.10.1 探针I-V特性二次微分的微分电路法

4.10.2 探针I-V特性二次微分的交流测量法

4.10.3 探针I-V特性二次微分的数值微分法

4.11 双探针技术

4.12 其他探针技术

4.12.1 磁探针

4.12.2 能量分析器

4.12.3 射频电流探针

4.13 低气压低温电浆的探针诊断套用实例

4.13.1 薄膜沉积的探针诊断

4.13.2 脉冲雷射电浆的探针诊断

4.13.3 尘埃电浆的探针诊断

4.13.4 甚高频放电电浆的探针诊断

参考文献

第5章 低气压低温电浆的波干涉诊断

5.1 微波干涉法

5.2 传输线微波干涉法

5.3 雷射干涉法

5.4 雷射双色干涉法

参考文献

第6章 低气压低温电浆的光谱诊断

6.1 电浆光谱的产生机理

6.2 发射光谱

6.2.1 电浆发射光谱的谱特性

6.2.2 发射光谱诊断的实验装置

6.2.3 发射光谱方法的优点与缺点

6.3 发射光谱的光化线强度测定法

6.4 电浆温度的光谱测量

6.4.1 惰性示蹤气体发射光谱法测量电子温度

6.4.2 光强比值法测量电子温度

6.4.3 发射光谱法测量分子转动温度、振动温度

6.5 吸收光谱

6.5.1 吸收光谱原理

6.5.2 吸收光谱实验装置

6.6 雷射诱导萤光光谱

6.6.1 雷射诱导萤光原理

6.6.2 雷射诱导萤光光谱的实验装置

6.6.3 雷射诱导萤光光谱方法的优点与缺点

6.7 光腔衰荡光谱

6.7.1 光腔衰荡光谱原理

6.7.2 光腔衰荡光谱实验装置

6.7.3 光腔衰荡光谱实验数据的获得

6.8 低气压低温电浆的光谱诊断套用实例

6.8.1 C基气体分子放电电浆的光谱诊断

6.8.2 Si基气体分子放电电浆的光谱诊断

6.8.3 F基气体分子放电电浆的光谱诊断

6.8.4 电浆材料加工工艺的终点探测

参考文献

第7章 低气压低温电浆的质谱诊断

7.1 质谱诊断的基本原理

7.2 四极质谱仪

7.2.1 四极质谱仪的主要结构与工作原理

7.2.2 四极质谱仪的解析度

7.2.3 四极质谱仪的标定

7.2.4 四极质谱仪的优点与缺点

7.2.5 AccuQuad 100D四极质谱仪介绍

7.3 飞行时间质谱仪

7.4 磁偏转质谱仪

7.5 质谱仪与电浆系统的连线

7.5.1 机械连线

7.5.2 电连线

7.6 质谱数据的表示方法

7.6.1 质谱数据的表示

7.6.2 图形係数

7.7 中性气体的质谱分析

7.7.1 中性气体的四极质谱分析技术

7.7.2 中性气体质谱的成分识别

7.7.3 中性气体质谱的相对浓度测定

7.8 离子的质谱分析

7.8.1 离子的四极质谱分析技术

7.8.2 离子密度与离子能量分布的确定

7.8.3 电浆的离子质谱分析

7.9 用质谱确定电浆物理基本数据

7.10 低气压低温电浆的质谱诊断套用实例

7.10.1 Si基分子放电电浆的质谱分析

7.10.2 C基分子放电电浆的质谱分析

7.10.3 F基分子放电电浆的质谱分析

7.10.4 脉冲雷射烧蚀Ni、Al、ZnO靶的四极质谱和飞行时间质谱分析

附录

部分受激原子、分子、离子发光特徵谱线表