按所利用的能源形式分类有：①电热、电化学加工法。其中电火花加工、电解加工和阳极机械切割等方法适于加工导电材料;电子束加工和等离子弧加工，不受加工件导电与否的限制。②超声加工法。利用声能加机械能可加工玻璃、石英、宝石、半导体等脆硬材料。③雷射加工法。利用高度集中的雷射束所产生的光能和热能，可加工金属或非金属的超高硬度的材料。尤其是在钻石上加工微米级小孔，这几乎是唯一的方法。特种加工的发展方向是：发展几种方法联合使用的複合加工，提高精度和表面质量，发展纳米级的超微细加工。